バックフィールドは超高真空と極低温で未来を創造します。

真空装置　VACUUM SYSTEMS

「SPDF-3101 RFスパッタ装置」

マグネトロンカソードの採用により、単源・多源スパッタを行うことができます。
磁性材ターゲットにも対応可能です。ご希望のターゲット材に対応したスパッタガンをご提案いたします。
基板回転加熱機構を採用し、高温までの高精度で安定した成膜を行えます。
基板クリーニングも行うことができます。
　ロードロックチャンバーを追加することにより、成膜チャンバーを真空に保ったまま大気開放することなく基板交換が行えます。
詳しくはお問い合せ下さい。

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「超高真空成膜装置」

超高真空中において、各種蒸発源に入れられた試料を加熱することにより基板に蒸着を行います。
蒸発源には固体用K-セル、ガスセルやレーザー等を使用します。高精度な基板回転加熱機構により安定したエピタキシャル成長を行うことができます。（MAX1000℃対応）
　ロードロックチャンバーと蒸着チャンバーの2室構成により、蒸着チャンバーを超高真空に保ったまま、大気開放することなく基板交換が行えます。
詳しくはお問い合せください。

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「VFT-215BR 高真空排気装置」

移動可能な高真空まで対応した真空排気装置です。
メインポンプはターボモレキュラポンプを採用し、バックポンプにはロータリーポンプを使用しています。ドライポンプに置き換えることも可能です。真空度に対応する真空計も標準装備しています。
移動が容易であり、キャスターはストッパー付きで安全に使用することができます。
詳しくはお問い合わせください。

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「ビームライン装置」

各種ビームライン用真空装置を設計/製作いたします。
イオンビーム・放射光等目的に合わせた製品をご提案します。

　　　　

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「各種真空装置」

ユーザー様のご用途に合わせて真空装置の設計からご相談に応じます。
低真空から超高真空までの仕様に合わせたご提案をいたします。
小さなことでも何なりとご相談ください。

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「真空システム」

真空中で様々な実験を行う際にどのような機器を組み合わせるのが最適かを悩んでいませんか。
当社ではユーザーの悩みを解決するためにこれまでの数々の経験をもとにご提案を行ってきました。
規格品はもとより、特注品においても製作することを得意としています。
悩む前にご相談ください。

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真空コンポーネント　VACCUM COMPONENTS

「2軸（X-Y）ステージ」

超高真空に対応した2軸タイプのベローズシール真空ステージです。
取り付けフランジに対して平行（X-Y）に2軸移動できます。
フランジサイズ/移動距離に合わせて製作いたします。
高精度マイクロメータヘッドを使用しているため高い再現性を保証いたします。
標準品がありますので、お気軽にお問い合せください。

※モーター駆動タイプの製作も承ります。

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「3軸（X-Y-Z）ステージ」

超高真空に対応した3軸タイプのベローズシール真空ステージです。
取り付けフランジに対して平行（X-Y）に2軸、垂直（Z）に1軸移動できます。
フランジサイズ/移動距離に合わせて製作いたします。
高精度マイクロメータヘッドを使用しているため高い再現性を保証いたします。
標準品がありますので、お気軽にお問い合せください。

※モーター駆動タイプの製作も承ります。

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「簡易型1軸（Z）ステージ」

超高真空に対応した1軸タイプのベローズシール真空ステージです。
取り付けフランジに対して垂直（Z）に1軸移動できます。
フランジサイズ/移動距離に合わせて製作いたします。
標準品がありますので、お気軽にお問い合せください。

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「トランスファーロッド」

　　　　

超高真空に対応したマグネットカップリングタイプの真空内搬送機構です。
真空内で試料を移送する際に使用し、直線/回転方向に動作可能です。
高磁力タイプのマグネットを採用することにより、高いトルク（結合力）を発生します。
ご希望のフランジサイズやストロークに合わせて製作いたしますので、お気軽にお問い合せください。

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「真空チャンバー」

超高真空（円筒形）タイプの真空チャンバーです。
ベーキングヒーターの取付も行っています。
仕様・要望に合わせて設計／制作しますのでお気軽にお問い合せください。

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「角チャンバー」

超高真空（角型）タイプの真空チャンバーです。
ベーキングヒーターの取付も行っています。
仕様・要望に合わせて設計／制作しますのでお気軽にお問い合せください。

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「ガス用蒸発源」

体試料を加熱し、溶融して出てきたガスを真空内部に導入します。
直接真空チャンバーに取り付けることができ、真空内部に突き出たノズルからガスを噴出することができます。
一体構造のため取り扱いが容易であり、またユニット全体を加熱できる構造のため効率よく試料をガス化し、対象物の近くまで導くことが可能です。
ご興味のある方はお問い合わせください。

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「真空内電極」

真空内で使用する様々な電極を用途に合わせて製作します。電極の構造や真空内での配置、真空チャンバーとの取り合い、各種配線の導入方法等を考慮して最適な仕様をご提案します。
何なりとご相談ください。 　　　　　

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「VMR-34H 回転導入機」

超高真空に対応したコンパクトなマグネットカップリング方式の回転導入機です。
強磁力マグネットを使用しているため、高い伝達トルクを持っています。ベーキング可能です。
フランジのボルトを締める際にお手持ちの六角レンチをそのまま使用できるため、
取り付け/取り外しが容易に行えます。
モーター駆動仕様も製作します。
詳細についてはお問い合せ下さい。

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「VLFタイプ 直線導入機」

超高真空に対応したコンパクトなベローズシールタイプの直線導入機です。
ストロークは、25ｍｍ・50ｍｍを標準仕様として取り揃えております。ベーキング可能です。
フランジのボルトを締める際にお手持ちの六角レンチをそのまま使用できるため、取り付け/取り外しが容易に行えます。
詳細についてはお問い合せ下さい。

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